罗茨真空泵的工作原理
时间:2010-11-14 09:15 作者:北弘泵业
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似.由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0 内,再经排气口排出.
在泵腔内,有二个"8"字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0 内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间V0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。
罗茨泵的工作原理既具有容积泵的工作原理,又有分子泵的抽气效应。由于转子的连续旋转,被抽气体从泵进气口吸入到下转子与泵壳之间的空间 V0 内,吸气后 V0 空间是全封闭状态。随着转子的转动,封闭的 V0 空间与排气口相通,由于排气侧气体压力较高,引起一部分气体反冲过来,使 V0 空间内的气体压力突然增高。当转子继续转动时, V0 空间内原来封入的气体连同反冲的气体一起被排向泵外。这时,上转子又从泵入口封入 V0 体积的气体。由于泵的连续运转,使两个转子不停地形成封闭空间 V0 又不停地将封闭空间玑内的气体排出泵外,从而实现了抽气的目的。